ICP光谱法的优点
1. ICP发射光谱法的分析校正曲线具有很宽的线性范围，在一般场合为5个数量级，好时可达6个数量级。
2. ICP发射光谱法具有同时或顺序多元素测定能力，特别是固体成像检测器的开发和使用及全谱直读光谱仪的商品化更增强了它的多元素同时分析的能力。
3. 由于ICP发射光谱法在一般情况下无须进行基体匹配且分析校正曲线具有很宽的线性范围，所以它操作简便易于掌握，特别是对于液体样品的分析。
ICP光谱仪的作用
虽然仪器的灵敏度在一定范围内波动，但仍有一合理的波动范围，如信号强度或测量RSD异常应注意检查。在ICP光谱仪上测量的样品应确保无沉淀或悬浮物，必要时应重新过滤，一此粒很细的胶体溶液应离心，以免发生堵塞。过高盐分的样品应适当稀释后才能测定。批量样品的测定应注意样品间应用稀的酸或去离子水清洗，个别高含量的样品应稀释后重新测定，并注意清洗足够的时间，以避免污染下一个样品。等离子体光谱仪属于精密光学仪器，对环境的温度有一定的要求，如果温度变化太大，光学元件受温度变化的影响就会产生谱线漂移，仪器寻峰不准 ，尤其是单道扫描型的仪器，甚至有时候会找不到峰。在ICP光谱仪上测量的样品应确保无沉淀或悬浮物，必要时应重新过滤，一此粒很细的胶体溶液应离心，以免发生堵塞。测量标准和样品时的温差大的话会造成测定数据不稳定，一般室温要求维持在20～25摄氏度间的一个固定温度，温度变化应小于±3/小时即可。一般空调就能达到，这也要求放置仪器的房间要适中。
ICP光谱仪的主要配置及附件：
以光电倍增管PMT检测器为基础的单道扫描电感耦合等离子体发射光谱仪，高频发生器，自动调谐，提供具有中英文操作界面的软件；它己被广泛使用于几乎所有的光谱测量，分析及研究工作中，特别适应于对微弱信号，瞬变信号的检测。专门用自动温控循环冷却水系统；冷却水管；高灵敏度进样系统（进口雾化机器加双筒型雾化室）。光学稳定性：与进样系统设计在一个平台上，整个光学系统具有防震措施，一般的地面震动不影响其分析性能。同时仪器稳定脚垫再增加一套防震保护，起到二次防震的目的。