东莞市清溪利成感光五金厂本厂主要做曝光显影工艺,平面、圆弧面、凹凸面、喷砂1氧2氧阳极、五金丝印.五金腐蚀等产品加工,有多年经验,有需要以上的工艺欢迎您的到来参观和洽谈,可免费打。
显影的主要过程如下:对准曝光一曝光后烘一显影一坚膜一显影检测。
曝光后烘(PEB)
曝光后应尽快进行显影步骤中的烘干处理,从而有效降低驻波效应的影响,这是由于曝光过程中,入射光和反射光会
产生相互干涉,其光强会沿着胶体水平方向形成波纹形状,即驻波。
目前通常采用曝光后立刻烘干方式,即PEB ,减少驻波效应带来的影响。
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坚膜( HB Hardbake)
坚膜也称为硬烘,是对显影后的光刻胶加热烘干,促使光刻胶与硅片粘着牢固,并且没有发生形变。坚膜阶段的温度一般控制在100-120℃之间,若加热温度过高会使得光刻胶软化,如图4所示,并导致后期去胶困难。
一般使用热板或烘箱来控制温度变化。
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蚀刻加工中,显影工作非常重要,它是确定产品外形精度的决定因素,若曝光不到位,产品就不能得到设计的形状,影响产品的功能与性能。因此需要选择合适的曝光机来进行加工,深圳鑫海森自成立以来,主要专注于精密蚀刻加工的生产,更多的是外贸业务,金属蚀刻加工产品质量要求较高,因此鑫海森购入国外进口曝光机及自动化蚀刻加工设备6条,为客户提供更好的加工质量,满足客户各批量精密零件蚀刻加工需求。然而,在该配置中,由于调色剂浓度传感器或表面电势传感器用作调色剂层厚度感测构件,因此设备的大小变得很大,或成本增加。