反渗透系统是整个纯净水系统的部件，只有通过反渗透才能达到纯净水的标准。反渗透系统主要采用膜过滤工艺。然后水分子可以通过反渗透膜。纯水处理设备的特点：率、低噪音、品质优良的高压泵；在线产品水电导率仪可随时监测水质情况。超纯水系统设备的脱盐部件为进口反渗透膜组件，超纯水系统设备通常由预处理部分，反渗透主机部分，后处理部分共同组成。
高纯水设备发展到现在，由传统的混床工艺逐渐演变成EDI电去离子工艺，根据目前发展形势，EDI技术符合时代发展需求。医行业用超纯水对于水质的要求更严格。EDI装置是应用在反渗透系统之后，取代离子交换树脂，无需酸碱再生，具有水质稳定、运行费用低、操作管理方便、占地面积小等特点。超纯水设备采用预处理、反渗透技术、混床、EDI装置以及后级处理等方法，将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水处理设备。
EDI净水设备具有连续出水、无需酸碱再生和无人值守等优点，已在制备纯水的系统中逐步取代混床作为精处理设备使用。超纯水设备是采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理等方法，将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水处理设备。纯净水设备可以有效地清除水中的细菌，重金属离子等有害物质，还可清除无法清除的氟等致癌的物质。