净化工程在设计时,工程的墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板,其特点为美观、刚性强。圆弧墙角、门、窗框等一般采用氧化铝型材。净化工程的步的关键是设计,工程设计水平的好与坏将直接关系到整个工程之后的施工,还会影响净化工程今后的稳定性、可靠性、经济性。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产温度范围为35—45%。
净化工程的等级划分比较的严格,一般按照7个等级进行的划分,分别是1级,10级,100级,1000级,10000级,100000,1000000级,净化安全要求是根据等级来实施的,净化工程等级数越小,级别是越高的,其含尘量越少,排名是靠前的。洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间"洁净室中的温湿度控制。洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到 人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。
湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。净化工程的一般施工程序:粉尘作业,无尘作业后,不允许交叉作业。 否则会影响项目的质量。 也就是说,在完成所有粉尘产生操作之后,可以进行无尘操作。1级:主要应用于电子工业,这是目前对净化工程要求高的环境,集成电路要求的精度要达到亚微米。随着微电子工业技术领域的突飞猛进,对洁净室的要求越来越高。及时生产间内的例子直径仅有1微米,也会使产品寿命受到影响。