广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦Turbo-V81
扩展测试寿命测试 在通过对有统计学意义数量的泵进行加速寿命测试(长时间暴露于加速损坏的条件下),对泵的可靠性进行验证。该测试可确保泵无故障运行的平均时间超过五年。冲击测试 对一批泵在运行和非运行条件下进行一系列测试,证明泵的抗冲击性。每个泵受到 30–120 g 的加速度,相当于从82 厘米/32 英寸高跌落(处于非运行状态的泵)和从 15 厘米/6 英寸高跌落(处于运行状态的泵)。在泵处于垂直、水平和倒立状态时,各进行 6 次冲击测试。所测试的泵在 24 次跌落后无任何问题(不发生转子机械接触,泵运行状态不变)。在每次跌落后验证泵的不平衡性,结果表明变化,远低于阈值。
广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦Turbo-V81
“黑科技” No.2AFS 安捷伦悬浮轴承技术
一般的涡轮分子泵的设计,泵的轴承是通过过盈配合与转子及泵体轴承座紧密连接的,一旦泵体有振动或冲击,这些振动就会传递到轴承,并且通过轴承传递到转子。由于涡轮分子泵的轴承和转子都在高速转动,对振动特别敏感,传递到轴承的振动会影响轴承的寿命,传递到转子的振动会造成转子发生位移,甚至会与泵体或定子接触。而一旦高速转动的转子与其它静止的部分接触,巨大的冲击力会立即造成转子叶片的破碎,整泵也随之报废。
安捷伦 AFS 悬浮轴承系统,采用特殊的弹性材料隔离转子与泵体,避免转子和轴承受到从泵体传来的冲击;并且由于弹性材料的阻尼效应,可以吸收各种振动的能量,降低整泵的噪音和振动,保证佳的轴承工作条件,从而能延长工作寿命,程度减少系统停机时间,确保长时间工作的稳定性。
广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦Turbo-V81
分子泵市场
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都彩复合分子泵和牵引泵作为主泵。
由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸汽被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵,以满足不同场合的需要。
广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦Turbo-V81
油池安装注意事项 ①、拆油
②、油量控制
③、油池卫生,防颗粒
④、对好、对称上紧螺钉,防止有漏
广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦Turbo-V81
从上世纪60年代上市以来,安捷伦(即原瓦里安,下同)扩散泵一直口碑很好。很多用户采购新的真空炉或镀膜机等设备时,会用安捷伦的型号,也有很多用户——特别是同时有安捷伦和其它扩散泵的客户——联系安捷伦,要求用安捷伦的扩散泵替换其旧设备上的其它品牌的扩散泵。
广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦Turbo-V81
传统的真空泵会产生废油,易出故障,这对妥善管理设备提出了挑战。安捷伦 IDP 真空泵系列拥有更清洁、安静的无油泵产品,能够实现真正的无油操作,助您改善实验方法,使实验室环境更加舒适整洁,是 GC/MS 系统更绿色、可持续的选择。继 5977B 使用无油干式真空泵 IDP-3 的选配方案后,安捷伦又发布了用于 7000 系列的选配方案 IDP-10,并且我们还设计了用于旧设备的升级套装。
广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦Turbo-V81
对使用过的安捷伦扩散泵做过保养的客户都会有一种印象,与别的扩散泵经常会结满黑黑的油垢不同,安捷伦的扩散泵喷塔往往在使用好几年后也非常干净,有客户甚至猜测安捷伦的扩散泵喷塔使用了类似不粘锅的涂层。其实,这主要是因为安捷伦扩散泵喷塔上防焦化挡板设计——在每一级喷嘴的上方,都会有一个与下面的喷塔点接触的罩子,该罩子的温度比喷塔低很多,所以,从上方滴下的油滴就不会落到高温的泵塔上焦化结垢,而是滴落在低温的挡板上,这就保证了安捷伦扩散泵的喷塔可以一直很干净,不用定期费时费力清洗
广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦Turbo-V81
一般的检漏仪只能设置大于某一漏率的报警值。因此在系统检漏时,当分流比过大却没有设置相应的分流比,或者当检漏阀门关闭或堵塞时,就有可能错过泄漏。安捷伦 HLD 系列检漏仪可以同时设置大于某一漏率和小于某一漏率的报警值。这样,当检漏仪的漏率小于经验的本底值或者预先安装的标准漏孔的值时,就会触发报警。另外,在使用自动排序器模式进行密封元器件的检漏时,除了对漏率可以同时设置大于和小于某一漏率的报警值外(使用背压法检漏的器件,当泄漏很大时,检漏仪的读数反而会很小),还可以设置长粗抽时间和检漏时间,从而尽可能地避免系统污染、漏气、堵塞等带来的误报、漏报等