当化学物质通过吸收能量(如热能、光子能量等)，可以使自身的化学性质变得更加活跃甚至被裂解。当吸收的能量大于化学键键能，即可使得化学键断裂，形成游离的带有能量的原子或基团。当波段内的真空紫外线(波长范围内184。9nm-253。7nm)，促使有机废气物质通过吸收该波段的光子，而该波段的光子能量大于绝大多数的化学键键能，使得有机物质得以裂解;再通过裂解产生的臭氧将其氧化成简单、无害、稳定的物质，如H2O和CO2等。
活性炭吸附脱附+催化燃烧设备工艺流程说明：（1）预处理阶段预处理采用填料式喷淋洗涤塔，喷淋液选择碱液酸性气体进行中和处理或者采用干式过滤器对粉尘进行过滤处理。（2活性炭吸附阶段经过前面的预处理后，废气通入后端的活性炭吸附/脱附塔进行吸附处理，通过活性炭微孔的有机气体吸附在活性炭表面，去除废气中的有机物，达到净化气体的作用。
经过二级洗涤处理后的气体经除雾层气液分离后进入三级洗涤区。在三级洗涤区也装有填料，同样利用填料将部分异味分子溶入水中，使废气得到三次净化，同时，三级洗涤水箱内设置ORP在线检测仪表，以保证水质。经三级洗涤处理后的气体进入除雾区，使气体中的液滴分离出来进入水箱，然后满足国家排放标准的干燥洁净的气体经风机由烟囱排入大气。 （5）三级洗涤设备配有全自动化水箱清洗系统，清洗管道上配置有360度旋转喷头，可定期自动对水箱进行清洗，整个过程不需要人员进行操作。
在废气处理当中，通常使用多的活性炭是蜂窝活性炭。活性炭原料通过特殊工艺，制作成蜂窝状立方体，常见孔径从1mm-3mm，孔径越吸附表面积越大能力也越强，同时压力损失也会更大。相对于颗粒炭，柱状炭，蜂窝活性炭有着压损小，易脱附，不易堵塞的优点，目前在废气处理中被广泛使用，吸附箱体作为一个框架用于放置活性炭，在废气治理中，用的多的样式：立式罐吸附器，卧式罐吸附器。