曝光一般在曝光机内进行,目前的曝光机依据光源冷却方式可分为风冷和水冷,曝光质量取决于除干膜致抗蚀剂、光源选择、曝光时间、菲林胶片质量等因素。
底片尺寸的稳定性随环境的温度和贮存时间而变化。所以,底片的生产、贮存和使用采用恒温的环境,采用厚底片也能提高照相底片的尺寸稳定性。
曝光后,聚合反应还要持续一段时间,为保证工艺的稳定性,曝光后不要立即揭去聚酯膜,以使聚合反应持续进行。待显影前再揭去聚膜。
取一张冲好定位孔的底片去编钻孔程序,便能得到同时钻出元件孔和定位孔的数据带或数据盘,一次性钻出元件孔及定位孔,在孔金属化后预镀铜,便可用双圆孔脱销定位曝光。曝光显影工艺主要应用于微电子加工中,是一种将芯片图案传递到硅片上的技术。
曝光显影工艺可以分为以下步骤:
显影:将曝光后的硅片浸泡在显影液中,在此过程中,光刻胶会在掩膜中没有被曝光的部分(即需要去除的图案区域)中被消蚀,并暴露出硅片表面。刻蚀:在暴露出的芯片表面上利用化学或物理方法以去除未被的光刻胶保护的硅表面材料,制造出所需的芯片图案。这些步骤相互整合,完成硅片的制造。在不同的制造要求下,整个曝光显影工艺过程的条件和具体流程可能会有所不同。曝光时菲林胶片黑色部分的钢片不被感光,对于空白的蚀刻钢片感光,刻钢片上的感光油墨不被显影液所融化,曝光一般在曝光机内进行,目前的曝光机依据光源冷却方式可分为风冷和水冷曝光显影技术的优势在于:在玻璃表面有极高的解像力,利用曝光显影工艺正好可以解决遮蔽油墨不能通过传统印刷解决的问题,具有精度高,量产性好,良率高等特点,采用曝光显影技术,遮蔽油墨可控良率可达90%以上。原文链接:http://www.moyao.net/chanpin/show-19175.html,转载和复制请保留此链接。
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