MEMS集成装置尤其是在生物传感器方面,已经成为心率、血压等涉及到身体健康生物信号监测的重要器件,在严苛的环境中膜层防护性要求能具有较好的稳定性是关键。涂覆了派瑞林的工业级传感器,为手术机器人功能提升与柔性电子发展提供重要的技术支撑。
除了健康领域,MEMS柔性传感系统可应用的领域还包括运动行业、可穿戴机械设备、人造皮肤等等。如将柔性压力传感器内置在鞋子中,可以实时检测体重、发力姿势、身体平衡性等;可穿戴设备中的柔性传感器可以感知人的动作和用力情况,协助佩戴者提起重物、快速走动等;集成了柔性触力传感器的人造皮肤,可以用于义肢上,感知佩戴者的动作意图并协助其完成想要的动作。作为纳米涂层材料之一,派瑞林镀膜技术更好的提升了MEMS产品的表面防护性能。
气相沉积与金属喷镀不同,气相沉积不受视线阻碍,需镀膜的产品,其所有的表面皆会被气体单体紧密覆盖,而达到精细均匀、高质量的镀膜表层。
对于腐要求的粘结钕铁硼磁体如果使用时(包括装配,焊接)温度不超过130度可以选择采用,特别是对于小规格磁体不适用电泳的条件下具有很高的效率和良好的抗腐蚀能力,可以满足盐雾120小时。
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